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磁力齒輪泵在濕法腐蝕清洗設備中的應用


       磁力齒輪泵在濕法腐蝕清洗設備中主要有以下應用:

  (1)藥液的循環過濾:由磁力齒輪泵、循環溢流槽、過濾器、管件等組成藥液的循環過濾系統。實現藥液的循環過濾,保證工藝槽藥液溫度和濃度的均勻性。由于磁力齒輪泵長時間運行會引起藥液一定溫升,因此不適用于溫控精度較高的工藝槽中。常應用于太陽能電池片酸洗、制絨、清洗等設備中。
  (2)熱水注入與噴淋:經過化學液處理后的晶片,有時需要熱DI水噴淋沖洗。一般先將DI水注入至預熱槽,通過加熱器加熱到所需供液溫度后,再通過磁力齒輪泵加壓輸送至噴淋裝置,實現對晶片的清洗。由于磁力齒輪泵軸承滑動摩擦會產生顆粒,不適用于顆粒要求高的清洗。
  目前經常使用的磁力齒輪泵泵體材料主要有:PP、PVDF、ETFE三種。根據不同的溶液選擇相適應的泵體材料、軸承材料以及密封圈材料。PP、PVDF、ETFE三種塑料泵體材質的磁力齒輪泵最高使用溫度為80℃,特殊型號最高使用溫度為100℃(臺灣ASSOMAAMXI系列)。介質的黏度對泵的性能影響很大,當黏度增加時,泵的揚程曲線下降,最佳工況的揚程和流量均隨之下降,而功率則隨之上升,因而效率降低。對于黏度較大的介質,較小揚程的磁力齒輪泵可能無法工作。用于噴淋沖洗的磁力齒輪泵,在滿足流量要求的前提下,選用揚程在20m以上的能達到較佳的清洗效果。


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